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黄光辅助材料 底部抗反射涂层 光刻胶
飞凯材料DUV底部抗反射层材料，搭配合适厚度可以将Al、Cu、W、GaAs等衬底反射率降低到1%以下；具有良好的填隙能力以拓展工艺窗口，分别适用于各类KrF光刻制程。
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